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冲压模具零件的结构形状，截面尺寸的差异，不同的热处理过程中加热和冷却速度，热应力和组织应力和体积变化的相变的组合下，造成部分体积膨胀或收缩，这样的尺寸和形状偏差、变形，甚至开裂原因。影响冲压模具热处理变形和开裂的原因是多方面的，主要是与钢的化学成分和原结构截面尺寸和形状的结构、构件和热处理工艺等因素有关。热处理变形是不可避免的，但可以防止裂纹的产生。
预备热处理：冲压模锻件，共析钢要归一化处理，然后进行球化退火，以消除锻造在二次渗碳体网，细化晶粒，消除内应力，并为后续的治疗准备组织。冲压前应进行冷回火。对于一些比较复杂的形状，高精度模具，在粗加工完成前，应先进行调质处理，以减少淬火变形，避免开裂倾向，并为热处理做好准备。
淬火和回火工艺的优化：淬火零件的保护：淬火和回火是影响冲压件热处理变形或开裂的重要因素。对于易变形或易开裂的零件，须采取有效的防护措施，使零件形状、截面对称、内应力均化。常用的保护方法有：包法、完井法、块法。
加热方式的改进：对于一些小型冲压密集或细长圆柱形零件，预热到520-580℃之前，再放入中温盐浴炉加热淬火温度，比直接使用电炉、反射炉加热淬火零件变形明显减小，并能控制开裂倾向。特别是高合金钢模具零件，正确的加热方法是：预热，然后上升至淬火温度。在加热过程中，应缩短高温期，减少淬火变形，避免产生细小裂纹。
加热温度的测定：淬火温度过高，使奥氏体晶粒粗大，导致氧化和脱碳，零件变形和开裂倾向增大。在一定的加热温度范围内，淬火温度降低会导致零件的孔缩，孔径变小。因此，应选择加热温度上限的调节。在合金钢的情况下，加热温度高，导致内孔扩大，孔径变大。因此，应选择加热温度下限值。
合金钢冷却液的选择，降低淬火变形的途径是采用硝酸钾和亚硝酸钠恒温淬火或间断淬火，特别适用于复杂形状、尺寸要求的冲压模具。有些多孔模具零件（如多孔模具），等温淬火时间不宜过长，否则会使孔或孔间距变大。如果使用冷却收缩油，利用硝酸盐的冷却膨胀特性，采用双介质淬火降低零件变形是合理的。
冷却方式的优化：当零件从炉冷却之前，应放置在适当的空气预冷，然后进入冷却淬火，减少零件淬火变形和开裂倾向于防止零件的方法之一。模具零件进入冷却液后，应适当旋转，并使旋转方向发生变化，有利于构件保持均匀的冷却速度，能明显降低变形，防止开裂倾向。